GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
作者:标准资料网 时间:2024-05-19 20:50:57 浏览:9754
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基本信息
标准名称: | 电子工业用气体 硅烷(SiH4) |
英文名称: | Gas for electronic industry-Silane |
中标分类: | 化工 >> 其他化工产品 >> 工业气体与化学气体 |
ICS分类: | 化工技术 >> 化工产品 >> 工业气体 |
替代情况: | 被GB/T 15909-2009代替 |
发布部门: | 国家技术监督局 |
发布日期: | 1995-01-02 |
实施日期: | 1996-08-01 |
首发日期: | 1995-12-20 |
作废日期: | 2010-05-01 |
主管部门: | 国家标准化管理委员会 |
归口单位: | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
起草单位: | 化工部西南化工研究院 |
出版社: | 中国标准出版社 |
出版日期: | 1900-01-01 |
页数: | 平装16开, 页数:9, 字数:13千字 |
适用范围
本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。
前言
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目录
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所属分类: 化工 其他化工产品 工业气体与化学气体 化工技术 化工产品 工业气体
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